玉崎科學(xué)XTRAIA XD-3300半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

在線 HRXRD/XRR 測量工具

產(chǎn)品型號(hào)：XTRAIA XD-3200
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-09-29
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Rigaku理學(xué)

單晶結(jié)構(gòu)分析半導(dǎo)體測量設(shè)備

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詳細(xì)介紹

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

毯式晶圓和圖案晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3200 是一款多功能射線計(jì)量工具，可在大批量生產(chǎn)中以高通量對(duì)毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無損分析。

測量結(jié)果包括通過射線反射率 (XRR) 測量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測量的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格弛豫和結(jié)晶度。

XTRAIA XD-3200 概述

適用于各種毯式晶圓應(yīng)用的射線計(jì)量解決方案

晶體管（SiGe）、LED/LD（GaN、GaAs、InP）、MEMS/傳感器（PZT、AlN）、新型存儲(chǔ)器（GST）、金屬膜、多層膜

這種*的射線計(jì)量工具能夠在大批量生產(chǎn)中對(duì) 300 毫米（和 200 毫米）無層晶圓（從超薄單層到多層堆疊）進(jìn)行高速測量。

XTRAIA 的性能歸功于

XTRAIA XD-3200 提供：

使用射線反射率 (XRR) 評(píng)估所有類型的單層和多層薄膜（非晶、多晶、外延）的厚度、密度和粗糙度。
高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 用于通過搖擺曲線 (RC) 和倒易空間映射 (RSM) 測量來評(píng)估外延膜的厚度、成分、應(yīng)變和結(jié)晶度。
可以使用 1/4× 支架測量扭轉(zhuǎn)/傾斜角和晶體取向（極點(diǎn)）。

XTRAIA XD-3200 特點(diǎn)

用于高效處理和過程監(jiān)控的內(nèi)聯(lián)功能

300 mm 和 200 mm 晶圓兼容性

采用高功率 (9 kW) 旋轉(zhuǎn)陽極 X 射線源

配備2D探測器，精確采集數(shù)據(jù)

用于靈活樣品定位的載物臺(tái)和測角儀

*的分析軟件提供全面的數(shù)據(jù)解釋支持

適用于大批量制造 (HVM) 的工廠自動(dòng)化功能（GEM300、E84/OHT 支持）

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