日本ULVAC愛發(fā)科3-L05 4-L06 6-L09 6-L12半導(dǎo)體間歇式真空熱處理爐
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間歇式真空熱處理爐

產(chǎn)品型號：3-L05 4-L06 6-L09 6-L12
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-11-25
訪問量：166

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ULVAC愛發(fā)科

愛發(fā)科真空泵熱處理設(shè)備凍結(jié)真空干燥裝置真空爐離子注入機(jī) 蝕刻設(shè)備灰化裝置真空沉積設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備濺射設(shè)備

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詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間歇式真空熱處理爐

間歇式真空熱處理爐COMBAT系列

可廣泛用于各種金屬零件的淬火、回火、退火、釬焊、燒結(jié)等真空熱處理。
采用高壓、大流量惰性氣體冷卻機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)金屬零件的高速淬火。
水冷套結(jié)構(gòu)可隔離爐內(nèi)熱量，減少熱量對工作環(huán)境的影響。

*本產(chǎn)品目前由海外集團(tuán)公司生產(chǎn)。

特征

最高溫度：1300℃
常溫：500℃~1250℃
均勻溫度：1150℃±5℃
能夠?qū)饘倭慵M(jìn)行高速淬火
水冷夾套結(jié)構(gòu)，保持工作環(huán)境清潔
標(biāo)準(zhǔn)使用鉬加熱器。還提供碳加熱器規(guī)格
通過在爐內(nèi)使用所有金屬，減少了碳粉對質(zhì)量的影響。

規(guī)格

爐型			3-L05	4-L06	6-L09	6-L12	6-L14	8-L12	10-L15	12-L18	評論
表現(xiàn)	浸泡尺寸	寬度 [毫米]	300	400	600	600	600	800	1000	1200
		高度 [毫米]	300	400	600	600	600	800	1000	1200
		深度 [毫米]	450	600	900	1200	1400	1200	1500	1800
	標(biāo)準(zhǔn)加工重量[kg]		100	200	500	500	1000	1200	1500	2500	包括托盤重量
	溫度	最高溫度[℃]	1300
		常用溫度[℃]	500～1250
		均勻溫度[℃]	1150±5								空爐中5點(diǎn)/9點(diǎn)測量
	真空	極限壓力 [Pa]	3×10 ^-3 Pa以下								空爐脫氣后，室溫
	真空	泄漏量[Pa·m ³ /秒]	8.5×10 ^-4以下
	冷卻	冷卻時間 [分鐘]	30/25以內(nèi)					35/25以內(nèi)	45/40以內(nèi)	50以內(nèi)	1150℃至150℃
	冷卻	冷卻氣體壓力 [MPa 絕對]	0.09/0.29							0.09	取決于所需規(guī)格
使用規(guī)格	安裝尺寸	寬度 [米]	2.8	3.4	5.0	5.0	5.0	5.2	5.5	5.5
		深度 [米]	3.0	4.0	6.0	6.0	6.0	6.0	7.0	7.5
		高度[米]	2.5	3.2	3.2	3.2	3.2	4.5	4.5	5.5
	電容量[kVA]		85	145	220	220	第232章	240	第470章	600
	冷卻水量[m ³ /hr]		10	15	20	20	20	30	40	45
	惰性氣體量[m ³ /次]		1.5/4.4	3/9	7/21	7/21	8/24	9/27	13/39	18
	壓縮空氣氣量[NL/min]		260	600	600	600	600	960	960	1500

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