HORIBA堀場全新壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

HORIBA堀場全新壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

這種的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊安裝了差壓檢測和壓電執(zhí)行器閥。

CRITERION D500 提供的高性能確保其可用于一系列優(yōu)良的半導(dǎo)體制造工藝;壓力不敏感、多量程/多氣體/多壓力、G-LIFE（綜合限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能，精度高，響應(yīng)快，量程寬，全金屬。

• 壓力不敏感性能
  新的高性能壓力不敏感功能提供了簡化的供氣系統(tǒng)

• 多量程、多氣體、多壓力解決方案
  新功能允許用戶更改氣體類型、滿量程流量和供氣壓力范圍

• G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能
  優(yōu)良的過程健康監(jiān)測功能允許作員進(jìn)行自己的測試，通常在 3 秒或更短的時間內(nèi)，以提高吞吐量

• 高精度
  通過優(yōu)良的三維調(diào)整提高了工藝氣體的流量精度

• 快速響應(yīng)
  響應(yīng)：< 0.8 秒
  可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量控制

• 動態(tài)范圍
  寬控制范圍：0.2% F.S. 至 100% F.S.